光学素子のプレス成形用金型

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170347
公開番号（公開出願番号）：特開平6-016433
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】【目的】精密加工性、機械的強度に優れ、高温下での耐酸化性、耐熱性、耐熱衝撃性に優れ、ガラスに対して化学的に不活性な光学素子のプレス成形用金型を提供することを目的とする。【構成】母材1b(タングステンカーバイト)を研削加工により所望する形状に近似した形状に加工する。次に母材1b上にPVD、CVD等により合金層3(少なくとも表層部がSi-Ta、SiーW、SiーCr、SiーNb、SiーV、Si-Mo、SiーPbのいずれかからなる合金層)を形成する。合金層3をダイヤモンドバイトによる切削加工により高精度に所望の形状に仕上げ、最後に合金層4上にPVD、CVD等により保護膜2を形成した構成とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも表層部が、シリコンを主成分としTa、W、Cr、Nb、V、Mo、Pbのうち少なくとも1種類以上含む合金からなる母材とし、前記母材を所望の形状に加工した後、前記母材上に耐熱性、耐食性に優れた保護膜を形成することを特徴とする光学素子のプレス成形用金型。

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