特許

J-GLOBAL ID：200903048037642280

真空ポンプ

発明者： 三浦 辰也 ,  矢作 充 ,  柴山 浩司 ,  下坂 健太郎
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-296557
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】[目的] 常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を液化又は固化させることなく排気し得る真空ポンプを提供すること。[構成] 真空ポンプ10のシリンダ31 、32 、33 、34 、35 、36 が形成されているケーシング1及び羽根車81 、82 、83 、84 、85 、86 を持つロータ11等の主要部品をアルミニウム、又はアルミニウム合金で作成する。

請求項（抜粋）：

常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を排気する真空ポンプにおいて、前記気体の流路を構成するケーシング及びシリンダ、ロータ等の主要部品がアルミニウム又はアルミニウム合金で製作されていることを特徴とする真空ポンプ。