特許
J-GLOBAL ID：200903048039455801
リボン型シリコン結晶の成長方法およびその成長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-359291
公開番号（公開出願番号）：特開2001-172098
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：
【要約】【課題】 リボン型シリコン結晶の形状(幅及び厚み)を任意に制御することが可能で、かつリボン型シリコン結晶の幅を広げることが可能なリボン型シリコン結晶の成長方法を提供しようとするものである。【解決手段】 るつぼ内のシリコン融液にリボン型シリコン種結晶を接触させるとともに、この種結晶を所望の速度で引き上げてリボン型シリコン結晶を成長させるに際し、前記種結晶と接する界面付近の前記シリコン融液部分に電磁力により外周から内部に向かう圧縮力を作用させるとともに、前記シリコン融液を上方に向けて持ち上げる力を加えることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
るつぼ内のシリコン融液にリボン型シリコン種結晶を接触させるとともに、この種結晶を所望の速度で引き上げてリボン型シリコン結晶を成長させるに際し、前記種結晶と接する界面付近の前記シリコン融液部分に電磁力により外周から内部に向かう圧縮力を作用させるとともに、前記シリコン融液を上方に向けて持ち上げる力を加えることを特徴とするリボン型シリコン結晶の成長方法。
IPC (2件)：
C30B 29/06 503
, C30B 30/04
C30B 29/06 503
, C30B 30/04
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF03
, 4G077EG27
, 4G077EJ02
