単結晶引上装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-236654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081583
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】大重量の単結晶を製造する際に単結晶の落下を生ずることなく安全に引き上げることができる単結晶引上装置を提供する。【解決手段】種結晶ホルダー10に支持された単結晶を回転しつつ引上げて逆円錐状の係合段部を形成する引上手段15と、その単結晶の係合段部6を係合部材13を介して把持する保持機構11と、これらを収納する金属チャンバー16とを具備する単結晶引上装置であって、前記種結晶ホルダー10は単結晶の育成にともなって延伸する構造を有し、さらに前記保持機構11は単結晶の係合段部を係合部材で把持してのち種結晶ホルダーに同調して回転しつつ引上られる構造であることを特徴とする単結晶引上装置。上記引上装置において、種結晶ホルダー10は上部ホルダーと下部ホルダーとがスライドでき、かつ弾性バネを内蔵した構造にすることができる。また、保持機構11の下向き外周面には磁石18を配し、これに対向する金属チャンバーの上向き内周面にも磁石18を配して、保持機構が磁気浮上する構造にするのが望ましい。

請求項（抜粋）：

種結晶ホルダーに支持された単結晶を回転しつつ引上げて逆円錐状の係合段部を形成する引上手段と、その単結晶の係合段部を係合部材を介して把持する保持機構と、これらを収納する金属チャンバーとを具備する単結晶引上装置であって、前記種結晶ホルダーは単結晶の育成にともなって延伸する構造を有し、さらに前記保持機構は単結晶の係合段部を係合部材で把持してのち種結晶ホルダーに同調して回転しつつ引上げられる構造であることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (4件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502 F , H01L 21/208 P

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