特許
J-GLOBAL ID：200903048053474495
試料処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060546
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274153
出願日： 1990年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】ウエハ吸着の信頼性向上およびプラズマ処理特性の悪影響のない試料処理を行う。【構成】ウエハを静電吸着力により試料台に保持してプラズマ処理する方法において、弾性部材をアース電位にしウエハを試料台に配置して弾性部材にウエハを当接させ、次に試料台に負電圧を印加してウエハを試料台に静電吸着させ、ウエハの静電吸着後にウエハ裏面に伝熱ガスを導入し、ウエハが目標の温度まで冷却されたら弾性部材を電気的にフローティング状態にし、プラズマを発生させてプラズマ処理を実施し、プラズマ処理が終了したらプラズマの消滅および伝熱ガスの供給停止を行い、弾性部材を再びアース電位にし、他方試料台に正電圧を一定時間印加し、その後試料台への電圧印加を停止し、試料台からウエハを搬送する。
請求項（抜粋）：
ウエハを静電吸着力により試料台に保持してプラズマ処理する試料処理方法において、弾性部材をアース電位にしウエハを前記試料台に配置して前記弾性部材に前記ウエハを当接させ、次に前記試料台に負電圧を印加して前記ウエハを前記試料台に静電吸着させ、前記ウエハの静電吸着後に前記ウエハ裏面に伝熱ガスを導入し、前記ウエハが目標の温度まで冷却されたら前記弾性部材を電気的にフローティング状態にし、プラズマを発生させてプラズマ処理を実施し、前記プラズマ処理が終了したら前記プラズマの消滅および伝熱ガスの供給停止を行い、前記弾性部材を再びアース電位にし、他方前記試料台に正電圧を一定時間印加し、その後前記試料台への電圧印加を停止し、前記試料台から前記ウエハを搬送することを特徴とする試料処理方法。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
, C23C 16/50
H01L 21/68 R
, C23F 4/00 A
, H05H 1/46 A
, C23C 16/50
, H01L 21/302 B
