複合クライオポンプとこれを使用した排気方法及び再生方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371103
公開番号（公開出願番号）：特開2000-192883
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】可燃性気体と支燃性気体が混合した気体を排気しても安全に再生できる複合クライオポンプを提供すること、及びその使用方法、再生方法を提供すること。【解決手段】排気口2を備えたクライオポンプのポンプケース3内に、該排気口に接近した上流側に第1クライオポンプ4のステージ6、7及びこれに連なる排気面8を設けると共に該排気口から遠ざかった下流側にゲートバルブ9を介して第2クライオポンプ5のステージ10、11及びこれに連なる排気面12を設け、該排気口から該第1クライオポンプの下流側の開口を覗き込めないように該第1クライオポンプの排気面8を配置した。第1クライオポンプの排気面により排気口からの支燃性ガスを凝縮排気し、第2クライオポンプの排気面により該排気口からの可燃性ガスを凝縮排気する。

請求項（抜粋）：

排気口を備えたクライオポンプのポンプケース内に、該排気口に接近した上流側に第1クライオポンプのステージ及びこれに連なる排気面を設けると共に該排気口から遠ざかった下流側にゲートバルブを介して第2クライオポンプのステージ及びこれに連なる排気面を設け、該排気口から該第1クライオポンプの下流側の開口を覗き込めないように該第1クライオポンプの排気面を配置したことを特徴とする複合クライオポンプ。

IPC (2件)：

F04B 37/08 , F04B 37/16

FI (2件)：

F04B 37/08 , F04B 37/16 A

Fターム (6件)：

3H076AA27 , 3H076BB24 , 3H076BB28 , 3H076CC41 , 3H076CC51 , 3H076CC94

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-038178
クライオポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-025494 出願人：アルバック・クライオ株式会社
特開平1-294976

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