特許
J-GLOBAL ID:200903048067567542
レーザーのコロナ予備電離装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池澤 寛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-226043
公開番号(公開出願番号):特開平8-070153
出願日: 1994年08月29日
公開日(公表日): 1996年03月12日
要約:
【要約】【目的】 コロナ放電を均一にすることにより紫外線の発生を均一化し、コロナ予備電離の性能向上を図るとともに、エキシマレーザーその他のガスレーザーのガス媒体の長寿命化、および出力の安定を図ることができるレーザーのコロナ予備電離装置を提供することを課題とする。【構成】 コロナ予備電極6の絶縁部材9の表面に等電位面21を形成することに着目したもので、コロナ予備電極6の絶縁部材9の表面に等電位面21を形成するとともに、コロナ用正電極7(あるいはコロナ用負電極8のいずれか一方)の尖鋭端部7Aを等電位面21に接触させたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
レーザー容器内の主電極に沿って設けたコロナ用正電極およびコロナ用負電極、ならびにこれらコロナ用正電極およびコロナ用負電極の間に介在させた絶縁部材を有するコロナ予備電極により該主電極近傍にコロナ予備電離を起こさせるレーザーのコロナ予備電離装置であって、前記コロナ予備電極の絶縁部材の表面に等電位面を形成するとともに、前記コロナ用正電極あるいは前記コロナ用負電極のいずれか一方の尖鋭端部をこの等電位面に接触させたことを特徴とするレーザーのコロナ予備電離装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/097 E
, H01S 3/223 E
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開平2-244684
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特開平1-298779
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特開昭64-007578
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