特許

J-GLOBAL ID：200903048071408920

荷電ビーム描画用鏡筒のクリーニング方法及び荷電ビーム描画用鏡筒

発明者： 鈴木 美雄
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342308
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162391
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 荷電ビーム描画用鏡筒を分解することなく、その内部をクリーニング可能にする。【解決手段】 O3発生器22から定量吐出バルブ23を介して荷電ビーム描画用鏡筒10内へO3を供給すると同時に、イオンポンプ18A、18B,18Cにより荷電ビーム描画用鏡筒10内の真空度を10ー3〜10ー5Paに保持して荷電ビームBを通す。荷電ビームBは、鏡筒10の内部の部材表面に当たって散乱電子を発生する。この散乱電子は、描画に伴って前記荷電ビーム描画用鏡筒内に流入したレジストの突沸物と前記O3との結合作用を助長させ、突沸物を分解させる。分解されたレジストの突沸物は、イオンポンプ18A、18B,18Cの真空引きにより外部へ排出される。

請求項（抜粋）：

荷電ビームを発生させ、この荷電ビームを表面にレジストが塗布された被描画材上の所望位置に導いて描画する荷電ビーム描画用鏡筒のクリーニング方法であって、前記荷電ビーム描画用鏡筒内にO3を供給すると共に、この荷電ビーム描画用鏡筒内の真空度を10ー3〜10ー5Paに維持して荷電ビームを通過させ、描画に伴って前記荷電ビーム描画用鏡筒内に流入したレジストの突沸物と前記O3との結合作用を、前記荷電ビーム描画用鏡筒内に発生する荷電ビームからの散乱電子によって助長させることにより前記突沸物を分解し、分解した突沸物を荷電ビーム描画用鏡筒内を真空に保つための真空引きにより外部へ排出することを特徴とする荷電ビーム描画用鏡筒のクリーニング方法。

IPC (6件)：

H01J 37/305 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01J 37/305 B ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/30 541 Z ,  H01L 21/30 551