特許
J-GLOBAL ID：200903048085300294
薬液供給装置およびその制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343034
公開番号（公開出願番号）：特開平7-163854
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：
【要約】【目的】 ノズルへ供給する薬液から気泡分離を行うとともに、その質の低下を防止する。【構成】 容積を可変制御可能な気泡分離タンク3を有し、制御ユニット4によりポンプ2と気泡分離タンク3とを同時にコントロールする。ポンプ2を停止し、気泡分離タンク3の容積を小さくして気泡分離タンク3内に滞留する薬液をドレインに排出する。通常は、気泡分離タンク3の容積を最大とし、ポンプ2を駆動してノズル5から薬液を例えばスピンコータに供給する。
請求項（抜粋）：
薬液貯留タンクからポンプにより薬液をノズルに供給する薬液供給装置において、上記薬液貯留タンクとノズルとの間の配管に1つ以上の気泡分離タンクを配設し、この気泡分離タンクは、その容積を制御可能に構成した薬液供給装置。
IPC (5件)：
B01J 4/00 103
, B01D 35/02
, B01J 4/02
, B08B 3/02
, H01L 21/304 341
