特許
J-GLOBAL ID：200903048092266174
シアリング干渉計測方法及びシアリング干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332832
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190737
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 シアリング干渉計において、周波数ピークから被測定波面の傾きを検出する際に傾きの正負の判別ができるようにすること。【構成】 シアリング干渉計において、シア量Sを変化させながら干渉光強度信号を検出し、シア量を変数とする周波数スペクトルのピーク周波数fpを検出し、このピーク周波数から被測定光波面の傾き∂W/∂xを含む形状情報を得るようになし、シア量を変数とする周波数スペクトルに既知一定量の周波数シフトνを生ずるようにシアリング干渉計の光学系を設定し、fp=k・(∂W/∂x)+ν(但し、k=2π/λ)によって被測定光波面の形状情報を得、周波数シフト量νを、k・(∂W/∂x)+νの符号が被測定波面のいたるところで必ず正または0、もしくは、必ず負または0になるように設定する。
請求項（抜粋）：
被測定光波面を2分割し、分割された両波面間に相対的にラテラル方向にシアを与えてから両波面を干渉させ干渉縞を発生させ、この干渉縞から被測定光波面の形状情報を得るシアリング干渉計測方法であって、前記シアの量Sを変化させながら干渉光強度信号を検出し、この信号のシア量Sを変数とする周波数スペクトルのピーク周波数fpを検出し、該ピーク周波数fpから前記被測定光波面の傾き∂W/∂x(但し、Wは被測定光波面の形状、xはシア方向に沿った成分の位置座標)を含む形状情報を得るようになし、上記シア量Sを変数とする周波数スペクトルに既知一定量の周波数シフトνを生ずるようにシアリング干渉計の光学系を設定し、下式によって前記被測定光波面の形状情報を得、fp=k・(∂W/∂x)+ν但し、k=2π/λ、λ:光波の波長、π:円周率前記周波数シフト量νを、k・(∂W/∂x)+νの符号が被測定波面のいたるところで必ず正または0、もしくは、k・(∂W+∂x)+νの符号が被測定波面のいたるところで必ず負または0になるように設定することを特徴とする干渉計測方法。
IPC (2件)：
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