特許
J-GLOBAL ID：200903048096667181
複合ターゲット
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181970
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025567
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 希酸に可溶で、導電性を有する透明導電膜を製造するために必要なスパッタリング用ターゲットを提供することにある。【解決手段】 バッキングプレート上のターゲットを、少なくとも2分割以上にしてIn2O3とSnO2からなるターゲット1とIn-Zn、In-Mg、In-Ga、Sn-Zn、Ga-Znの中から選ばれる二種の酸化物からなるターゲット2を一つのターゲットとして構成する複合ターゲットである。
請求項（抜粋）：
バッキングプレート上のターゲットを、少なくとも2分割以上にして、In2O3とSnO2からなるターゲット1と二種の酸化物からなるターゲット2を一つのターゲットとして構成することを特徴とする複合ターゲット。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/34 A
, C23C 14/08 D
, C23C 14/08 K
