特許
J-GLOBAL ID：200903048099914988
枚葉式研磨機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130988
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317813
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドの外周部を均一かつ適正に傾斜させることができ、研磨時における研磨パッド間への板状ワークの円滑な進入を可能とする。【解決手段】 回転する一対の定盤1A,1Bの対向面にそれぞれ接合された一定厚の研磨パッド2で板状ワークWの略上半部を両面から挟んで研磨する。各定盤1A,1Bの対向面の外周縁15,16は、外方へ向かうにつれて漸次互いに離間する方向へ湾曲する曲面となっており、研磨パッド2の外周縁21が上記曲面に沿ってこれに接合されている。また、各定盤1A,1Bの対向面のうち凹状とした内周部13,14の周壁17,18は、内方へ向かうにつれて漸次互いに離間する方向へ湾曲する曲面となっており、研磨パッド2の内周縁22が上記曲面に沿ってこれに接合されている。
請求項（抜粋）：
回転する一対の定盤の対向面にそれぞれ接合された一定厚の研磨パッドで板状ワークの一部を両面から挟んで研磨する枚葉式研磨機において、前記各定盤の対向面の外周縁を、外方へ向かうにつれて漸次互いに離間する方向へ湾曲する曲面となすとともに、前記研磨パッドの外周縁を前記曲面に沿ってこれに接合したことを特徴とする枚葉式研磨機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/04 A
, B24B 7/17 Z
3C043BB05
, 3C043BC06
, 3C043CC07
, 3C043DD05
, 3C058AA09
, 3C058CA01
, 3C058CB04
