特許
J-GLOBAL ID：200903048100547390
液晶表示装置用薄膜トランジスタアレイおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275507
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109418
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 パターニング工程数を増やすことなく、ゲートバスラインとドレインバスラインとの交差上の段差によるドレインバスラインの断線を抑制し、液晶表示装置として致命的なライン欠陥不良を防止した液晶表示装置用薄膜トランジスタアレイを提供する。【解決手段】 液晶表示装置用薄膜トランジスタアレイのゲートバスラインとドレインバスラインとの交差部を含む領域において、ドレインバスライン上に積層された絶縁膜に、ドレインバスラインと電気的に接続するためのコンタクトホールを開口し、前記絶縁膜上に前記コンタクトホールを覆うように画素電極と同層の透明導電膜からなる配線冗長膜を設けた。
請求項（抜粋）：
透明絶縁基板上に平行に配列された複数のゲートバスラインと、前記ゲートバスラインと直行して配列され、第1の絶縁膜により前記ゲートバスラインと電気的に分離された複数のドレインバスラインと、前記ゲートバスラインとドレインバスラインとの交点の近傍に配置された薄膜トランジスタと、前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインとで囲まれた領域に配置された透明導電膜からなる画素電極とを有し、前記薄膜トランジスタは、前記透明絶縁基板上に形成され前記ゲートバスラインと電気的に接続するゲート電極と、前記第1の絶縁膜およびチャネル層とコンタクト層を介して形成され前記ドレインバスラインと電気的に接続するドレイン電極と、前記第1の絶縁膜およびチャネル層とコンタクト層を介して形成され前記画素電極と電気的に接続するソース電極とで構成され、前記画素電極が第2の絶縁膜により前記ドレイン電極および前記ドレインバスラインと電気的に分離された、液晶表示装置用薄膜トランジスタアレイにおいて、前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインとの交差部を含む領域の、前記ドレインバスライン上に積層された前記第2の絶縁膜に、前記ドレインバスラインと電気的に接続するためのコンタクトホールを開口し、前記第2の絶縁膜上に前記コンタクトホールを覆うように前記画素電極と同層の透明導電膜からなる配線冗長膜を設けたことを特徴とする液晶表示装置用薄膜トランジスタアレイ。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, H01L 29/78 612 C
