特許
J-GLOBAL ID：200903048101494363
水素不透過性外側被覆層を有する黒鉛製チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高木 六郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-418276
公開番号（公開出願番号）：特開平6-009295
出願日： 1990年12月25日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、炭素を含有しない多結晶ケイ素の製造方法及び水素不透過性外側被覆層を有する黒鉛製チャックを提供する方法にある。【構成】黒鉛製チャック上に装着されている加熱された前記スタータフィラメント上でガス状ケイ素化合物を熱分解することによって実質的に炭素を含有しない多結晶ケイ素を製造する方法において、前記加熱されたスタータフィラメントはガス状ケイ素化合物の熱分解を実施するのに十分な温度に保持してスタータフィラメント上に析出した多結晶ケイ素と副生物である水素とを生成させ、この場合前記黒鉛製チャックは、前記副生物である水素が黒鉛と反応して析出した多結晶ケイ素上で分解して炭素となるメタンを生成することを防止するための水素不透過性外側被覆層を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
長寸のスタータフィラメント上でガス状ケイ素化合物を熱分解することによって多結晶ケイ素棒を製造する際に前記スタータフィラメントを装着するのに適した黒鉛製チャックにおいて、水素不透過性外側被覆層を有することを特徴とする黒鉛製チャック。
IPC (2件)：
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