特許

J-GLOBAL ID：200903048107414329

ポジ型感光性組成物

発明者： 鈴木 信雄 ,  山中 司 ,  青合 利明 ,  加藤 栄一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007759
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202038
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 露光後から加熱処理までの経時による酸の拡散又は失活の防止が容易且つ適切にでき、且つ溶解阻止効果や現像性が改善され、安定的に良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供することである。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、及びフッ素原子及び/又はケイ素原子を含有した重合体成分を50重量%以上含有する重合体セグメント(A)と、該重合体成分を含まないか又は含んでも20重量%以下である重合体セグメント(B)とがブロックで結合した共重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、及び(d)フッ素原子及び/又はケイ素原子を含有した重合体成分を50重量%以上含有する重合体セグメント(A)と、該重合体成分を含まないか又は含んでも20重量%以下である重合体セグメント(B)とがブロックで結合した共重合体を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027