特許

J-GLOBAL ID：200903048109797489

位置検出装置及びそれを用いた加工機

発明者： 斉藤 謙治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-150072
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326740
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 ナノメートル以下の位置検出も可能な分子原子レベルの高精度な位置検出を可能とする位置検出装置及びそれを用いた加工機を得ること。【解決手段】 物体面上に設けたアライメントマークに照明手段から励起光を照射し、該アライメントマーク近傍に励起された近接場光をプローブを利用して検出することによって該物体の位置情報を検出していること。

請求項（抜粋）：

物体面上に設けたアライメントマークに照明手段から励起光を照射し、該アライメントマーク近傍に励起された近接場光をプローブを利用して検出することによって該物体の位置情報を検出していることを特徴とする位置検出装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 37/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

H01L 21/30 525 E ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 37/00 D ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/66 J