特許
J-GLOBAL ID:200903048114048737

レーザ放射波長の監視および制御方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 大和 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-532897
公開番号(公開出願番号):特表2002-504755
出願日: 1999年02月18日
公開日(公表日): 2002年02月12日
要約:
【要約】【課題】 レーザによって発散された反射波長の制御および(または)監視を改良する。【解決手段】 レーザ反射の波長を監視および制御するための装置は、レーザ12の反射を受け取り、かつそれぞれ第1および第2濾波済みビーム36、38を伝送および反射するための少なくとも1つの光フィルタ32を含む。別の態様では、第1および第2ビーム336、38は別々のフィルタ32、34によって伝送される。ビームは、少なくとも1つの交差波長で交差するそれぞれのスペクトルフィルタ関数にしたがって濾波される。ビーム比較エレメント20は第1および第2濾波済みビーム36、38を比較し、設定値波長からのレーザ放射波長の偏差を表すエラー信号22を生成する。ビーム比較エレメントは第1および第2光検波器40、42、およびこれらの光検波器で検波された信号の比または差をとることによりエラー信号22を生成するエラー回路48を含み得る。少なくとも1個の光フィルタに対するレーザ反射の入射角を変えることにより、レーザの動作波長を選択または変更するための光フィルタのスペクトルフィルタ関数が変わる。レーザ波長コントローラ50は、レーザ放射の波長を安定化または同調させるためのエラー信号を受け取ることができる。本発明のいくつかの実施の形態が開示される。
請求項(抜粋):
監視された波長をもつ監視されたビームから第1および第2分割ビームを分割する光ビームスプリッタ装置と、 第1スペクトルフィルタ関数に従って前記第1分割ビームから第1濾波済みビームを生成するために前記第1分割ビームに応答する第1光フィルタと、 第2スペクトルフィルタ関数に従って第2濾波済みビームを生成するために前記第2分割ビームに応答する第2光フィルタとを有し、 前記第1および第2スペクトルフィルタ関数が交差点波長において交差し、 前記第1光フィルタがその上にフィルタ層を備える基板を含み、前記フィルタ層が前記基板の誘電率と異なる誘電率を持つ少なくとも1つの薄膜層を含み、 前記基板および前記フィルタ層の1つの表面が、ゼロでない入射角において前記第1分割ビームを受け取るように配置され、 設定値波長からの前記監視されたビームの波長の偏差に応答するエラー信号を生成するために前記第1および第2濾波済みビームの強度を比較するビーム比較エレメントを有する、 レーザ放射波長監視装置。
IPC (3件):
H01S 3/00 ,  G02B 5/20 ,  H01S 3/13
FI (3件):
H01S 3/00 G ,  G02B 5/20 ,  H01S 3/13
Fターム (12件):
2H048AA07 ,  2H048AA12 ,  2H048AA18 ,  2H048AA24 ,  2H048AA25 ,  5F072AB09 ,  5F072AB13 ,  5F072AK06 ,  5F072HH05 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072YY17
引用特許:
審査官引用 (3件)

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