特許

J-GLOBAL ID：200903048114799520

光源内蔵プローブカード

発明者： 溝口 利幸
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175535
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004661
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 プローブカード毎に照度差が生じてしまうことなく、均一な照度の光を被検査対象の半導体チップに安定的に照射できる光源内蔵プローブカードを提供する。【解決手段】 本発明に係る光源内蔵プローブカードは、プローブカード基板1と、該プローブカード基板1の中央部に設けられた穴3と、該穴3の近傍の該プローブカード基板1下面に設けられたプローブ針5であって、その先端が該穴3の下方に延び、検査の際に該先端を被検査対象の半導体チップに接触させるためのプローブ針5と、上記穴3の近傍の上記プローブカード基板1に内蔵された光源としての発光ダイオード7と、を具備し、発光ダイオード7の発光部が上記穴3の内部に露出しているものである。

請求項（抜粋）：

プローブカード基板と、該プローブカード基板の中央部に設けられた穴と、該穴の近傍の該プローブカード基板下面に設けられたプローブ針であって、その先端が該穴の下方に延び、検査の際に該先端を被検査対象の半導体チップに接触させるためのプローブ針と、上記穴の近傍の上記プローブカード基板に内蔵された光源と、を具備することを特徴とする光源内蔵プローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66 ,  H01L 33/00

FI (3件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B ,  H01L 33/00 L

Fターム (15件)：

2G011AA17 ,  2G011AC11 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA17 ,  4M106CA19 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  4M106DH31 ,  5F041DC26 ,  5F041DC64 ,  5F041DC81 ,  5F041FF16