特許
J-GLOBAL ID:200903048115168930

接触式変位センサおよびこのセンサを用いたワーク測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-006598
公開番号(公開出願番号):特開平7-208905
出願日: 1994年01月25日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】本発明の主な目的は、強度や耐久性を落とすことなく小形化・細径化が可能な接触式変位センサを提供することにある。【構成】ハウジング11の内部に一次コイル31と二次コイル32,33が設けられており、コイル31〜33の内側に所定長さのコア20が挿通している。コア20はコイル31〜33の軸線方向に移動自在であり、付勢部材50によってハウジング11から突出する方向に付勢されている。接触子12は、測定対象ワークWの被測定面に対向する頭部13と、軸線方向に延びる軸部14とを有しており、軸部14の後端にコア20が設けられている。軸部14とコア20はチューブ40によって互いに連結されている。チューブ40は例えば熱収縮性の高分子材料からなり、コア20と軸部14の双方にわたって両者の外周面に密着している。
請求項(抜粋):
ハウジングと、上記ハウジングの軸線方向に移動自在に設けられかつ先端が被測定面に対向させられる接触子と、上記接触子の後端側に設けられかつ上記接触子の軸線方向に延びるコアと、上記コアの外側に配置されていて一次交流電圧が印加される一次コイルと、上記一次コイルの近傍に配置されかつ上記一次コイルに一次交流電圧が印加された時に上記コアの位置に応じた二次電圧を生じる二次コイルと、上記接触子と上記コアとの接続部分において上記接触子と上記コアの双方にわたって被着されて接触子とコアとを連結するチューブと、を具備したことを特徴とする接触式変位センサ。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  G01D 5/22

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