X線回折測定装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-226809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072864
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】装置を大型化することなく、X線回折測定装置の測定精度を向上させること。【解決手段】固定支持された円弧状X線検出部を有する位置敏感型比例計数管12と、第1軸線χの回りに回転可能な第1回転部材13と、第1回転部材13により、前記第1軸線χに交わる第2軸線ω回りに回転可能に支持された第2回転部材17と、前記第2回転部材17により前記第1軸線χおよび第2軸線ωの交点を通り前記第2軸線ωに垂直な面内に有る第3軸線φ回りに回転可能に支持された第3回転部材23と、第3軸線φに平行なZ軸方向に移動可能で且つ、前記第2回転部材17と前記第3回転部材23との間に設けられたZテーブル19と、前記Z軸と共に直交する3軸を構成するX軸およびY軸の各軸方向にそれぞれ移動可能で且つ、前記第3回転部材23に支持されたXテーブル27およびYテーブル29とを備えたX線回折測定装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とするX線回折測定装置、(Y01)固定支持された円弧状X線検出部を有する位置敏感型比例計数管、(Y02)第1軸線回りに回転可能な第1回転部材、(Y03)前記第1回転部材により前記第1軸線に交わる第2軸線回りに回転可能に支持された第2回転部材、(Y04)前記第2回転部材により前記第1軸線および第2軸線の交点を通り前記第2軸線に垂直な面内に有る第3軸線回りに回転可能に支持される第3回転部材、(Y05)前記第3回転部材に支持される試料保持部、(Y06)前記第3軸線に平行なZ軸方向に移動可能で且つ、前記第2回転部材と前記第3回転部材との間に設けられたZテーブル、(Y07)前記Z軸と共に直交する3軸を構成するX軸およびY軸の各軸方向にそれぞれ移動可能で且つ、前記第3回転部材に支持されたXテーブルおよびYテーブル、(Y08)前記第1軸線、第2軸線、および第3軸線からなる回転3軸線の交点にX線ビームを照射するX線照射装置、(Y09)前記試料保持部に保持された試料の複数の測定点をそれぞれ前記回転3軸線の交点に配置したときのXテーブル、YテーブルおよびZテーブルの各座標を記憶した座標記憶メモリ、(Y010)前記試料保持部に保持された試料の複数の測定点を前記回転3軸線の交点に移動させるように、前記X,YおよびZテーブルをそれぞれ移動させるXテーブル移動手段、Yテーブル移動手段およびZテーブル移動手段、(Y011)前記試料保持部に保持された試料の複数の測定点を前記回転3軸線の交点に所定の順序で移動させるように、前記Xテーブル移動手段、Yテーブル移動手段およびZテーブル移動手段の作動を制御するテーブル移動制御手段。

引用特許：

審査官引用 (14件)

X線複合分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-186714 出願人：株式会社日立製作所
X線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-053967 出願人：株式会社日立製作所
X線装置と該装置を用いた評価解析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-037917 出願人：シャープ株式会社

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