特許
J-GLOBAL ID：200903048123494537
光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359406
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182232
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】受光素子の表面と光半透過膜との間の多重干渉を抑制して、フリンジを低減させる。【構成】プリズム15のうちでフォトダイオード13に対向する部分に光半透過膜25が設けられており、この光半透過膜25の更にフォトダイオード13側に光吸収膜32が設けられている。一方、Si基板12に形成されているフォトダイオード13の表面は保護膜であるSiO2 膜26に覆われており、このSiO2 膜26と光吸収膜32との間に接着剤27が介装されている。この様に光吸収膜32が設けられているので、フォトダイオード13の表面つまりSi基板12とSiO2 膜26との界面と、光半透過膜25との間で多重反射する光が、反射の回数に伴って急速に減衰する。
請求項（抜粋）：
受光素子上に光半透過膜が設けられており、前記光半透過膜に入射した光の一部を前記受光素子で受光する様にした光学装置において、前記受光素子と前記光半透過膜との間に光吸収膜が設けられていることを特徴とする光学装置。
IPC (2件)：
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