特許
J-GLOBAL ID：200903048124652446
ピンホール検査方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131606
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318558
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 被検査物が大きな欠陥を有していても、光検出器が計測不能になる程のダメージを受けることなく検査を行うことができるピンホール検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 光源からの光を被検査物に照射し、被検査物からの通過光の光量を光検出器によって検出し、光検出器によって検出された光量値に基づいて被検査物中のピンホールの有無を判定するピンホール検査方法は、光検出器によって検出された光量値に基づいて、光源が照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
光源からの光を被検査物に照射し、前記被検査物からの通過光の光量を光検出器によって検出し、前記光検出器によって検出された光量値に基づいて前記被検査物中のピンホールの有無を判定するピンホール検査方法において、前記光検出器によって検出された光量値に基づいて、前記光源が照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴とするピンホール検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 P
, G01M 11/00 T
