特許
J-GLOBAL ID：200903048143113734
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260345
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083954
出願日： 1996年09月09日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 固定鏡等の材質、形状の工夫、温度安定化によらずに、固定鏡の回転誤差に起因する重ねあわせ精度の劣化を抑制する。【解決手段】 干渉計システム50では移動鏡34及び固定鏡36の相対位置関係から基板ステージ16の2次元座標位置と回転量とを計測する。温度センサ40は固定鏡36又は取付け部材38の温度を計測し、主制御装置24ではこの温度センサ40の出力に基づいて予め定めた基準に従って固定鏡36の回転量を予測する。このため、固定鏡36等の熱変形に起因して固定鏡36の回転誤差が生じていた場合に、装置24によりこの回転量が予測され、これに応じて干渉計システム50の計測結果を補正したり、リセットしたりすることが可能になり、結果的に、固定鏡等の材質、形状の工夫、温度安定化によらず、固定鏡の回転に起因する重ね合わせ誤差を低減することができる。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンの像を感光基板上に転写する露光装置であって、前記感光基板を保持して2次元移動及び回転が可能な基板ステージと;前記基板ステージに設けられた移動鏡と前記基板ステージ外の装置固定部に設けられた固定鏡とを含み、前記移動鏡及び固定鏡の相対位置関係から前記基板ステージの2次元座標位置と回転量とを計測するレーザ干渉計システムと;前記固定鏡又はその取付け部材の温度を計測する1又は2以上の温度センサと;前記温度センサの出力に基づいて予め定めた基準に従って前記固定鏡の回転量を予測する予測手段とを有する露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01B 9/02
, G01B 11/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/00
H01L 21/30 502 G
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G03F 7/20 521
, H01L 21/00
, H01L 21/30 525 R
, H01L 21/30 525 W
