特許
J-GLOBAL ID：200903048150482028
セラミックグリーンシートの製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-243593
公開番号（公開出願番号）：特開平11-077627
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 厚みの均一なセラミックグリーンシートを製造できるようにする。【解決手段】 スラリーコータ5に備えるスラリー室にセラミックスラリー2を供給するとともに、スラリー室の開口の周縁部にキャリアフィルム3を圧接させて開口を閉じ、その状態で、キャリアフィルム3を開口に沿って移動させることによって、キャリアフィルム3上にスラリー2からなるセラミックグリーンシート4を成形する。このとき、流量計21で測定したスラリー2の現流量に関する現流量データ23と膜厚計22で測定したグリーンシート4の現厚みに関する現厚みデータ24とに基づき、適正流量データ演算手段26において、所望の厚みのグリーンシートを得るために供給されるべきスラリーの適正流量に関する適正流量データ25を求め、これに基づき、流量制御手段27によってスラリー2の流量を制御する。
請求項（抜粋）：
セラミックスラリーの供給を受けるもので、外部に向く開口が形成されたスラリー室を備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、前記スラリー室に前記セラミックスラリーを供給するとともに、前記スラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造方法であって、前記スラリー室に現に供給されている前記セラミックスラリーの流量を測定するとともに、前記キャリアフィルム上に現に成形されている前記セラミックグリーンシートの厚みを測定し、測定された前記セラミックスラリーの流量に関する現流量データと測定された前記セラミックグリーンシートの厚みに関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みのセラミックグリーンシートを得るために前記スラリー室に供給されるべきセラミックスラリーの適正流量に関する適正流量データを求め、前記適正流量データに基づき、前記スラリー室に供給されるセラミックスラリーの流量を制御する、各工程をさらに備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの製造方法。
IPC (3件)：
B28B 1/30 101
, G05B 13/00
, G05D 5/02
B28B 1/30 101
, G05B 13/00
, G05D 5/02
