特許
J-GLOBAL ID:200903048152196871
ディスプレーパネルの検査装置および検査方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-312970
公開番号(公開出願番号):特開2005-214962
出願日: 2004年10月27日
公開日(公表日): 2005年08月11日
要約:
【課題】 ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】 ディスプレーパネルの表面に光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第1画像を得る段階と;前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第2画像を得る段階と;前記第1画像と前記第2画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含む。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ディスプレーパネルにパターンを印加せず前記ディスプレーパネルを撮影して第1画像を得る段階と;
前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第2画像を得る段階と;
前記第1画像と前記第2画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査方法。
IPC (3件):
G01M11/00
, G01N21/88
, G09F9/00
FI (3件):
G01M11/00 T
, G01N21/88 Z
, G09F9/00 352
Fターム (19件):
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AC11
, 2G051AC21
, 2G051BA01
, 2G051CA04
, 2G051CB03
, 2G051ED08
, 2G051ED11
, 2G086EE10
, 5G435AA17
, 5G435BB04
, 5G435BB12
, 5G435BB15
, 5G435CC09
, 5G435EE25
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許:
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