特許

J-GLOBAL ID：200903048159207496

リニアモータ、これを用いたステージ装置や露光装置、ならびにデバイス製造方法

発明者： 大石 伸司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272617
公開番号（公開出願番号）：特開平11-113239
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 速度ムラの生じない高精度なリニアモータを提供すること。【解決手段】 電磁駆動力によって磁石とコイルとが相対移動するリニアモータにおいて、該コイルは複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該磁石と該並列コイルの相対移動時に発生する逆起電流の大きさが、各コイルでほぼ等しくなるように該並列コイルを構成することを特徴とする。コイルは同心で積層した複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該複数のコイルはそれぞれ巻数が異なり、対向する磁石の磁束密度にほぼ反比例した巻数を持っている。

請求項（抜粋）：

電磁駆動力によって磁石とコイルとが相対移動するリニアモータにおいて、該コイルは複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該磁石と該並列コイルの相対移動時に発生する逆起電流の大きさが、各コイルでほぼ等しくなるように該並列コイルを構成することを特徴とするリニアモータ。

IPC (4件)：

H02K 41/03 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H02K 41/03 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G