特許

J-GLOBAL ID：200903048161134498

露光体およびこの露光体を用いた露光装置

発明者： 岡田 憲明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005358
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204405
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 可視光線等を使用可能で、光の回折の影響を受けず且つ従来以上の解像度での露光を可能とする露光装置を得る。【解決手段】 光透過性材料製で、少なくとも一つの光反射面13を有し、光反射面の外側面に凹凸パターン13a,13bが形成された露光体10と、露光体の内部を通り光反射面13に対して臨界角以上の入射角で露光光を照射する露光光照射装置31と、光反射面13の外側面に近接してウエハ20を配置保持する露光対象保持装置34とから構成される。露光光照射装置31から露光体10を通って光反射面13に露光光を照射するとここで全反射されるが、光反射面13の外側面にはエバネッセント光が発生し、ウエハ20の表面の感光剤層21に凸パターン13bから発するエバネッセント光が当たり、凸パターン13bと同一パターンで露光する。

請求項（抜粋）：

光透過性材料から作られるとともに少なくとも一つの光反射面を有し、この光反射面における外側面に凹凸パターンが形成されており、前記凹凸パターンのうち、凸パターンは同一平面に位置するパターンからなり、凹パターンは、前記凸パターンの位置する平面から内方に窪んで形成されており、前記凸パターンが、露光対象の露光パターンと略同一形状のパターンを有していることを特徴とする露光体。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/04 ,  G03F 1/00

FI (4件)：

H01L 21/30 502 P ,  G02B 5/04 ,  G03F 1/00 ,  H01L 21/30 527