特許

J-GLOBAL ID：200903048164373965

厚みすべり水晶振動子の製造方法

発明者： 渡部 隆夫 ,  川崎 公一 ,  近 雅博 ,  田中 雅子
出願人/特許権者： 株式会社明電舎
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091101
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297663
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 電極材にアルミニウムを使用しながら経年変化が少なく電気的特性に優れ、しかも安定した周波数調整ができる製造方法を提供する。【構成】 水晶板21の表面及び裏面に導通電極25、26を形成し、保持器22のリード端子23、24と導通電極とを導通接続してその保持も得る。この後、水晶板の表面と裏面で対向する対向部を有して主電極27、28を導通電極に一部重ね合わせて形成し、この主電極を空気に晒すことなく続けて該対向部の厚さ調整による共振又は発振の周波数調整を行う。この共振又は発振周波数調整にリード端子に計測器を接続する。

請求項（抜粋）：

極薄の水晶板の表面と裏面に対向部を有してアルミニウムの電極を形成し、前記対向部に重ね蒸着する金属の厚さによって発振又は共振周波数の周波数調整をする厚みすべり水晶振動子の製造方法において、前記電極形成は、少なくとも前記対向部を除いて導通電極を水晶板面に形成し、前記導通電極の一端を保持器のリード端子に接続し、電極形成装置内で前記水晶板の対向部から前記導通電極までのパターンを持つアルミニウムの主電極を形成し、前記リード端子を周波数調整用計測器との接続端子とし、前記主電極の形成後に該主電極を空気に晒すことなく連続的に前記電極形成装置内で周波数調整の金属蒸着を行うことを特徴とする厚みすべり水晶振動子の製造方法。

IPC (2件)：

H03H 3/04 ,  H03H 9/19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-221011
  
• 特開昭58-170210
  
• 特開平4-196610