特許
J-GLOBAL ID:200903048164556172

保護シート剥離装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-290040
公開番号(公開出願番号):特開平8-143218
出願日: 1994年11月24日
公開日(公表日): 1996年06月04日
要約:
【要約】【目的】 絶縁基板の保護シートの剥離が確実に行えるようにする。【構成】 供給リール10から供給された粘着テープ11がテープ押し当てローラ15により絶縁基板7上の保護シートに押し当てられた後、該ローラ15が前進移動する際に保護シートが剥離される。
請求項(抜粋):
混成集積回路を構成する絶縁基板に装着された保護シートを剥離する保護シート剥離装置に於いて、前記絶縁基板の保護シート面に粘着テープを供給する供給装置と、該保護シート上に供給された粘着テープを保護シートに押し当てる押し当て装置と、該押し当て装置により保護シートを粘着した粘着テープを巻き取る巻取り装置とを設けたことを特徴とする保護シート剥離装置。
IPC (2件):
B65H 41/00 ,  H01L 21/50

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