特許
J-GLOBAL ID：200903048166170018
基板表面の形状矯正方法および研磨加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315306
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 基板表面の形状矯正方法および研磨加工方法を提供する。【構成】 基板6の吸着面6aを矯正チャック7で真空吸着しながら変形させて所望の形状に矯正した後、その反対面6bに接着剤10を塗布して基板保持部材4の保持面4aに接着固定し、矯正形状を保持した状態で基板6の吸着面6aを研磨加工することにより、高精度で所望の面形状を有する基板を得ることができる。
請求項（抜粋）：
基板表面の形状を矯正する方法であって、基板の一方の面を吸着しながら変形させて該吸着面の反対面を所望の形状に矯正することを特徴とする基板表面の形状矯正方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 321
, B23Q 3/08
, B24B 1/00
, B24B 7/22
