特許

J-GLOBAL ID：200903048166333650

加速度センサおよびその製造方法

発明者： 馬場 啓之 ,  浅野 勝吾 ,  中野 泰之 ,  福田 徹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250266
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074767
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 比較的構造が簡単であり、低価格で、高い性能を有する優れた加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 第1検出用電極35aが形成された第1平面33aと、所定の面積を有する第2検出用電極35bが形成された第2平面33bと、を有するとともに、第1および第2平面33aおよび33bと実質的に平行な方向に分極している板状の圧電セラミックスなどの圧電素子材からなる加速度検出部31と、加速度検出部31の第1平面33aと略等しい形状および面積を有する底面43aと、所定の質量と、を有する導通用電極45aと、を有する重り部41と、を備え、重り部41の第1導通用電極45aが、加速度検出部31の第1検出用電極35aに導電性接着剤などで接着されて互いに電気的に接続され、振動を電気信号に変換して出力する。

請求項（抜粋）：

第1検出用電極が形成された第1平面と、この第1平面と反対側で、第2検出用電極が形成された第2平面と、を有するとともに、前記第1および第2平面と実質的に平行な方向に分極している板状の圧電素子材からなる加速度検出部と、前記第1検出用電極の表面と略等しい形状および面積を有する導通用電極が形成された、前記第1平面と略等しい形状および面積を有する底面と、所定の質量と、を有する重り部と、を備えるとともに、この重り部の底面と前記第1平面が、対向するように配置され、前記導通用電極が、前記第1検出用電極に電気的に接続され、前記第1および第2検出用電極間の電位差を検出することを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z