特許

J-GLOBAL ID：200903048167428370

光電子集積回路装置

発明者： 大淵 真理
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 眞鍋 潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-337766
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142679
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 光電子集積回路装置に関し、CNT層の抵抗値を充分に低く維持できるようにして配線を低抵抗化した光電子集積回路装置を実現し、また、CNT層を受光素子として動作させることができる光電子集積回路装置を実現する。【解決手段】 カーボン・ナノチューブからなるビア5に光を入射させ得る位置に半導体発光素子7が配設されている。

請求項（抜粋）：

カーボン・ナノチューブからなる電極或いは配線に光を入射させ得る位置に半導体発光素子が配設されてなることを特徴とする光電子集積回路装置。

IPC (6件)：

H01L 27/15 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768 ,  H01L 27/14 ,  H01L 29/06 601 ,  H01L 31/0248

FI (7件)：

H01L 27/15 Z ,  H01L 27/15 D ,  H01L 29/06 601 N ,  H01L 27/14 J ,  H01L 21/90 A ,  H01L 21/88 P ,  H01L 31/08 F

Fターム (23件)：

4M118AA10 ,  4M118AB05 ,  4M118CA14 ,  4M118CA40 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FC02 ,  4M118FC18 ,  5F033HH00 ,  5F033JJ00 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033PP12 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033SS11 ,  5F033VV08 ,  5F033VV09 ,  5F088AA11 ,  5F088AB01 ,  5F088EA09