特許

J-GLOBAL ID：200903048168052969

ポジ型レジスト組成物

発明者： 尾崎 晴喜 ,  森馬 洋 ,  上谷 保則
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048438
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249666
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 感度、耐熱性及びプロファイル等の諸性能のバランスに優れ、且つスカムのないポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、kは1又は2である。)で示されるフェノール類の1種もしくは2種以上、一般式(II)【化2】(式中、R4 は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基を表わし、R5 〜R7 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、nは1又は2である。)で示される化合物の1種もしくは2種以上及びアルデヒド類を縮合させて得られる樹脂(A)を含むアルカリ可溶性樹脂並びにキノンジアジド化合物を含有してなるポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、k は1又は2である。)で示されるフェノール類の1種もしくは2種以上、一般式(II)【化2】(式中、R4は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基を表わし、R5〜R7は各々独立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、n は1又は2である。)で示される化合物の1種もしくは2種以上及びアルデヒド類を縮合させて得られる樹脂(A) を含むアルカリ可溶性樹脂並びにキノンジアジド化合物を含有してなるポジ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-248194