特許

J-GLOBAL ID：200903048171436697

2成分ガスアナライザー

発明者： 喜多 純一
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237661
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072130
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 各光源からの光が試料セル及び参照セルを通過して各検出器で光電変換することにより、各試料セル内に存在するガスの濃度を測定する際に、各光源がそれぞれ異なる周波数で輝度変調され、且つ各検出器信号から各周波数成分を抽出して相互に演算処理することにより、機械振動に強く、耐久性が良好で、且つ測定精度の高い2成分ガスアナライザーを得る。【構成】 試料セル20、21及び参照セル22、23が、中空部材を用いて組み立てられ、その一端側には光源2、3及び凹面鏡4、5、6、7が配置され、他端側には焦電検出器31、32が配置される。発振器71、72は変調周期数の基準信号を出力し、光源駆動回路73、74を介して光源2、3を輝度変調し、その測定断続光は干渉フィルター9を通過する。

請求項（抜粋）：

第1光源から出射された光が第1試料セルを通過して第1検出器で光電変換し、且つ第1光源から出射された光が第1参照セルを通過して第2検出器で光電変換すると共に、第2光源から出射された光が第2試料セルを通過して第2検出器で光電変換し、且つ第2光源から出射された光が第2参照セルを通過して第1検出器で光電変換することにより、各試料セル内に存在するガスの濃度を測定する2成分ガスアナライザーであって、第1光源及び第2光源がそれぞれ異なる周波数で輝度変調され、且つ第1検出器及び第2検出器の各出力信号から各周波数成分を抽出し、各周波数成分を相互に演算処理することを特徴とする2成分ガスアナライザー。