特許
J-GLOBAL ID：200903048176292332
走査型熱伝導分布計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364917
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183414
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 試料表面の微小な領域の熱伝導分布を高精度に測定する。【解決手段】 カンチレバー1は、先端部1aに探針1b及び熱電対を有し、弾性変形が可能である。レーザ光源4は、強度変調されたレーザ光を先端部1aに照射し、探針1bをAC加熱する。熱起電力増幅器10は、探針1bの熱電対が検出した熱起電力を増幅し、ロックインアンプ13に出力する。ロックインアンプ13は、レーザ電源11の変調周波数を参照周波数として、この参照周波数成分と同一の熱起電力のみを検出する。ポジションセンサ5が光てこ法によってカンチレバー1の撓みを検出し、I-V変換器8、増幅器9を介してコンピュータ14に出力し、コンピュータ14は駆動装置12を介してフィードバック制御を行って試料15の位置を制御する。コンピュータ14は、カンチレバー1の位置と探針1bの温度変化とを記憶し、試料の表面形状及び熱伝導分布を求める。
請求項（抜粋）：
先端部に探針及び該探針に熱的に結合した温度センサを有する弾性変形可能なカンチレバーと、前記探針を試料表面に接触させて前記カンチレバーと前記試料とを相対的に走査する走査手段と、時間と共に周期的に加熱量を変えつつ、前記探針を加熱する加熱手段と、前記温度センサで検出された温度のうち、周期的に変化する温度変化を検出する温度検出手段と、を具備したことを特徴とする走査型熱伝導分布計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 25/18 H
, G01N 37/00 H
, G01N 37/00 F
