特許
J-GLOBAL ID：200903048178876560
観察位置の再現方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314510
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149707
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】 光学顕微鏡3と走査型トンネル顕微鏡4とが組込まれた顕微鏡装置において、一旦観察済みの観察位置10を正確に再現して、同一観察位置に対する詳細観察を可能とする。【構成】 過去に光学顕微鏡3及び走査型トンネル顕微鏡4を用いて決定された観察位置10の画像データを記憶保持して、再度同一観察位置10に対する詳細観察を実行する場合は、移動ステージ1でもって概略の観察範囲内へ試料2を移動させた後に測定された画像データと記憶された画像データが一致するように移動ステージ1位置を微調整する。
請求項（抜粋）：
移動ステージに搭載された試料をこの移動ステージを順次移動させながら、光学顕微鏡にて得られる前記試料の画像に基づいて前記試料上の観察範囲を設定し、その後走査型トンネル顕微鏡を用いて前記観察範囲内の観察位置を決定してその位置に対する詳細観察を行い、この決定された観察位置に対応する前記移動ステージの移動位置を記憶保持し、かつ観察済みの観察位置に対する再観察を行う場合、前記記憶された該当観察位置に対応する移動位置へ前記移動ステージを戻す観察位置の再現方法において、前記決定された各観察位置の画像データを読取って記憶保持し、同一観察位置に対する再観察実施時に、前記移動ステージを前記記憶された移動位置へ戻した後、移動後に得られた画像データと前記記憶された画像データとが一致するように前記移動ステージ位置を微調整することを特徴とする観察位置の再現方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
