特許
J-GLOBAL ID：200903048179823169
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308206
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159420
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】振動に強く熱ドリフトの少ない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】ベース102の上に三軸方向に移動可能なチューブスキャナー104が取り付けられている。試料108はチューブスキャナー104の上端に設けた試料台106の上に載置される。支持台110の上にXYZステージ112が設けられている。その自由端にプローブを備えているカンチレバー118は、カンチレバー支持116を介してXYZステージ112に固定されている。XYZステージ112の上には更に別のXYZステージ114が設けられていて、このXYZステージ114に、プローブの変位を検出する光集積型センサー130がセンサー支持120を介して固定されている。光集積型センサー130の上方には、試料108を光学的に観察するための光学顕微鏡(その対物レンズ124のみを図示した)が配置されている。
請求項（抜粋）：
先端が尖ったプローブと、その自由端でプローブを支持していて、プローブに力が働いた際にその強さに応じて弾性変形するカンチレバーと、プローブを試料表面に沿って走査する走査手段と、プローブの変位を検出する変位検出手段と、プローブと試料表面の間の距離を制御する距離制御手段と、走査手段と距離制御手段からの信号に基づいて試料表面の情報を画像化する手段とを備え、変位検出手段が光集積型センサーで構成されている走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
