セラミック被覆フィルムおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026759
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233465
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】本発明は、無色透明であり、かつ高いガスバリア性を有するとともに後加工による外部からの折り曲げや引っ張り等の作用に対して、ガスバリア性の低下することのない柔軟性を有する実用性の高いセラミック被覆フィルム及びその製造方法を提供する。【構成】基材フィルムの表面にアルコール雰囲気下で金属又は金属化合物或いはそれらの前駆体からなるセラミック薄膜を成膜形成し、セラミック薄膜の粒子中又は分子中、或いは粒子同士又は分子同士の界面にアルコキシル基結合或いはR-金属-陰イオン-金属-R(R:アルキル基)結合を有する化合物が生成され、それが有機的結合を有し、ある程度の伸縮性を示すことでマクロ的に柔軟性に富むセラミック被覆フィルムとなる。

請求項（抜粋）：

基材フィルム上に金属又は金属化合物からなるセラミック膜を形成してなるセラミック被覆フィルムにおいて、前記基材フィルムの表面にアルコール雰囲気下で金属又は金属化合物或いはそれらの前駆体からなるセラミック薄膜を成膜してなり、かつ前記セラミック薄膜の粒子中または分子中、或いは粒子同士または分子同士の界面にアルコキシル基結合或いはR-金属-陰イオン-金属-R(R:アルキル基)結合を有することを特徴とするセラミック被覆フィルム。

IPC (5件)：

C23C 14/06 , C23C 16/06 , C23C 16/22 , C23C 16/50 , C23C 16/54

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭51-096740
特開昭61-242330
特開昭63-303070

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