特許
J-GLOBAL ID:200903048183887961

繊維強化セラミックス部材の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 信一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-191705
公開番号(公開出願番号):特開2003-002756
出願日: 2001年06月25日
公開日(公表日): 2003年01月08日
要約:
【要約】【課題】使用電力の低減、および蒸着装置の向上を計ることができる繊維強化セラミックス部材の製造方法。【解決手段】蒸着装置1内に収容され、通電により発熱する耐熱繊維製の不織布又は織布から成る部材5へ直接通電して該部材5を析出物質の蒸着温度に加熱するとともに、前記蒸着装置1内に原料ガスgを供給し、前記部材5を構成している繊維の表面へ、気相蒸着法により被覆材を析出させる。
請求項(抜粋):
蒸着装置内に収容され、通電により発熱する耐熱繊維製の不織布又は織布から成る部材へ直接通電して該部材を析出物質の蒸着温度に加熱するとともに、前記蒸着装置内に原料ガスを供給し、前記部材を構成している繊維の表面へ、気相蒸着法により被覆材を析出させることを特徴とする繊維強化セラミックス部材の製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/80 ,  C23C 16/42 ,  D06M 10/00 ,  D06M 10/06
FI (4件):
C23C 16/42 ,  D06M 10/00 L ,  D06M 10/06 ,  C04B 35/80 L
Fターム (12件):
4K030BA37 ,  4K030CA05 ,  4K030CA08 ,  4K030FA10 ,  4L031AA24 ,  4L031AA29 ,  4L031AB32 ,  4L031AB34 ,  4L031BA19 ,  4L031BA23 ,  4L031CB10 ,  4L031CB13
引用特許:
審査官引用 (5件)
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