特許

J-GLOBAL ID：200903048194357050

赤外線検出素子

発明者： 森田 信一 ,  廣田 正樹
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289709
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133578
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】 赤外線検出素子の寸法を変更することなく、出力信号を低下を抑制し応答速度の向上を図る。【解決手段】 半導体基板1の空洞部2を介して形成されたダイアフラム3上に温接点7と冷接点8を備えた赤外線感知部と、この赤外線感知部と赤外線吸収層13の間に高熱伝導層14を有する赤外線検出素子。

請求項（抜粋）：

半導体基板の一主面に形成された空洞部と、前記半導体基板から前記空洞部を介して形成された熱伝導性の低いダイアフラムまたはメンブレンと、該ダイアフラムまたはメンブレン上に設けた赤外線感知部と、該赤外線感知部の上部に設けた赤外線の吸収能を有する赤外線吸収層と、前記赤外線感知部と前記赤外線吸収層の間に高熱伝導層を有することを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/12 ,  H01L 35/32

FI (3件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/12 ,  H01L 35/32 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-205729
  
• 特開平3-276772
  
• 特開平4-006424
  
• 特開昭61-040523
  

審査官引用 (5件)

• 特開平2-205729
  
• 特開昭61-040523
  
• 特開平3-276772
  
• 特開平4-006424
  
• 特開昭61-040523