特許
J-GLOBAL ID：200903048195581132
基板処理装置および方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-199934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043221
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 移動機構の剛性や駆動系のトルクを高くすることなく、基板搬送装置の移動時の揺れを低減することができる基板処理装置および方法を提供する。【解決手段】 まず、基板搬送ロボットTRを水平方向に移動させることなく、Z方向駆動機構30を使用して鉛直方向下方に所定の高さまで移動させる。次に、上記所定の高さを維持したまま、X方向駆動機構20を使用してホットプレートHP9との受け渡し位置からX方向駆動機構20によるベース部材55の移動ラインへの垂線上まで基板搬送ロボットTRを移動させる。そして、X方向駆動機構20による移動が停止する直前または停止後に、Z方向駆動機構30を作動させて基板搬送ロボットTRを鉛直方向上方のホットプレートHP9との受け渡し位置まで移動させる。
請求項（抜粋）：
所定の処理部間で基板の搬送を行う基板搬送装置を備えた基板処理装置であって、(a) 所定の駆動部を含み、前記処理部と基板の受け渡しを行う第1の受け渡し位置から第2の受け渡し位置まで前記基板搬送装置を移動させる移動手段と、(b) 前記駆動部まわりの慣性モーメントに関して、前記第1の受け渡し位置における前記基板搬送装置の慣性モーメントよりも小さい値の慣性モーメントとなる位置まで前記基板搬送装置を移動させた後、前記第2の受け渡し位置まで前記基板搬送装置を移動させるように前記移動手段を制御する移動制御手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B25J 5/02
, H01L 21/68
B65G 49/07 D
, B25J 5/02 A
, H01L 21/68 A
