ヒータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149054
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017746
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】向上した寿命を有する、半導体CVD処理装置における半導体ウエハ直接加熱用ヒータを提供する。【構成】ヒータ11を高純度ガラス状カーボンで形成する。

請求項（抜粋）：