特許
J-GLOBAL ID：200903048198129320
シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188785
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279167
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】上端部分の変形を生じないシリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法を提供する。【構成】シリコン融液の液面レベルよりやや上側からルツボ底部に至る内壁部分を合成石英によって形成し、上記液面レベルよりやや上側からルツボ上端部に至る部分およびルツボ外壁を天然石英で形成する。該ルツボは回転モールドに順次天然石英と合成石英を充填して製造することができる。【効果】高温加熱下の使用環境においてもルツボ上端が変形せず、しかも内壁部分全体を合成石英で形成した場合と同様の高純度の単結晶シリコンを引き上げることができる。さらにルツボの変形による損失がないので単結晶シリコンの製造コストをかなりの程度低下できる。
請求項（抜粋）：
シリコン融液の液面レベルよりやや上側からルツボ底部に至る内壁部分を合成石英によって形成し、上記液面レベルよりやや上側からルツボ上端部に至る部分およびルツボ外壁を天然石英で形成したことを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。
引用特許：
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