特許

J-GLOBAL ID：200903048201669896

電子顕微鏡装置

発明者： 長藤 佳夫 ,  鈴木 郁央
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-150367
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003011
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 電子線により絶縁体試料に蓄積される電子の影響を受けずに、電子顕微鏡による絶縁体試料の観察を可能にすることを提供する。【構成】 測定試料に電子線を照射する電子銃と、電子線照射により発生する二次電子を検出する二次電子検出装置の他に、陽イオンビームを発するイオン銃を備える電子顕微鏡装置であり、測定試料表面における電子線照射位置と同位置に陽イオンビームを照射し、電子線照射により測定試料に蓄積された電子を中和する程度に陽イオンビームの照射量を制御する。

請求項（抜粋）：

測定試料に電子線を照射する電子銃と、前記電子線の照射により発生する二次電子を検出する二次電子検出装置を備えた電子顕微鏡装置において、陽イオンビームを発するイオン銃と、前記測定試料における前記電子線照射位置と同位置に前記陽イオンビームを照射する手段と、前記電子線照射により前記測定試料に蓄積された電子を中和する程度に前記陽イオンビームの照射量を制御する手段とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/28