特許
J-GLOBAL ID：200903048205245659
光学定数測定装置および顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-023163
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196630
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 試料の光学定数を測定可能な小型の測定ヘッドを備えた光学定数測定装置、および該測定ヘッドを備えた顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料表面に収束光または発散光を照射する照射光学系、前記収束光または発散光の前記試料からの反射光を導く受光光学系および該受光光学系により導かれた反射光の光ビーム内光強度分布を検出する光強度分布センサを備えた測定ヘッドと、検出された該光ビーム内光強度分布に基づいて前記試料の光学定数または前記試料表面に形成された薄膜の光学定数を算出する光学定数算出装置とを備えたことを特徴とする光学定数測定装置、および上記測定ヘッドを備えた顕微鏡。
請求項（抜粋）：
試料表面に収束光または発散光を照射する照射光学系、前記収束光または発散光の前記試料からの反射光を導く受光光学系および該受光光学系により導かれた反射光の光ビーム内光強度分布を検出する光強度分布センサを備えた測定ヘッドと、検出された該光ビーム内光強度分布に基づいて前記試料の光学定数または前記試料表面に形成された薄膜の光学定数を算出する光学定数算出装置とを備えたことを特徴とする光学定数測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/06 Z
, G02B 21/00
