特許
J-GLOBAL ID：200903048207150353
洗浄処理方法及び洗浄処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223464
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118086
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 洗浄能率の向上を図ることのできる洗浄処理方法及び洗浄処理装置を提供すること。【解決手段】 被処理体(ウエハ)Wを処理する複数種類の薬液A〜Cのうち、1種類以上の薬液を備えた処理ユニット11a〜11dを複数設置しておくと共に、同一種類の薬液を少なくとも二つの処理ユニットに配置するようにしておき、個々の処理シーケンスの被処理体Wを順次処理するに当たって、各被処理体Wを、処理シーケンスに合った薬液を有する処理ユニットに順次搬送するように構成している。
請求項（抜粋）：
複数種類の処理液にて被処理体を処理する処理ユニットを複数用意しておくと共に、複数の処理ユニットのうちの少なくとも二つの処理ユニットに同一種類の処理液を供給可能にし、個々に処理シーケンスが決められた被処理体を連続して複数の処理ユニットに投入して処理するに当たって、後に処理される被処理体の処理シーケンスを確認した後、先に処理される被処理体の処理シーケンスに基づいて被処理体が搬送される複数の処理ユニットが選択されるようにしたことを特徴とする洗浄処理方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 642
, H01L 21/304 648
, H01L 21/304
, B08B 3/04
H01L 21/304 642 B
, H01L 21/304 648 B
, H01L 21/304 648 H
, H01L 21/304 648 K
, B08B 3/04 Z
3B201AA02
, 3B201AA03
, 3B201AB44
, 3B201BB02
, 3B201BB92
, 3B201BB93
, 3B201CC01
, 3B201CC12
