特許

J-GLOBAL ID：200903048211217110

マイクロマニピュレータ

発明者： 糸魚川 貢一 ,  岩田 仁
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291503
公開番号（公開出願番号）：特開平9-131173
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】力の検出感度を良くするとともに、そのばらつきを抑えることが可能なマイクロマニピュレータを提供する。【解決手段】マニピュレータ11を構成する支持部材12,13の先端に、拡散歪みゲージ17及び薄肉部16を形成した単結晶シリコンよりなる指部材15を取着した。マニピュレータ11によって対象物Wを挟んだ時に、指部材15は、薄肉部16の部分で撓み、その撓みによる応力としてのマニピュレータ11の力を拡散歪みゲージ17が検知して撓みに応じた電気信号を検出信号として出力する。

請求項（抜粋）：

微小な対象物(W)をハンドリングするためのマイクロマニピュレータであって、前記対象物(W)をハンドリングする一対のアーム(A1,A2)と、前記一対のアーム(A1,A2)のうち少なくとも一方の先端に、前記対象物を把持し、その力を検知する力センサを備えたマイクロマニピュレータ。

IPC (3件)：

C12M 1/00 ,  B25J 7/00 ,  G02B 21/32

FI (3件)：

C12M 1/00 A ,  B25J 7/00 ,  G02B 21/32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 検査用ピンセット装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-324019   出願人：安心院幸敬