特許
J-GLOBAL ID：200903048211739957
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-322617
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147903
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 角速度センサを高精度に小型化し、かつ、高感度に形成する。【構成】 半導体基板1の両面側より異方性エッチング処理を行い、開口部29,30,31,32を設け、台形柱状の振動子2と、これを支持する支持部3a,3b,3c,3dとを形成する。振動子2の中央部の支持部3a,3bと3c,3dに挟まれた部分の斜面21,22に励振・検出兼用圧電磁器膜4,10を配設し、この上面側20に帰還用圧電磁器膜5を配設する。異方性エッチング処理等の半導体微細加工技術により半導体基板1上に振動ジャイロ19cが形成されるので、高精度で小型、かつ、高感度の角速度センサが得られる。
請求項（抜粋）：
半導体基板に半導体加工技術を用いて柱状の半導体振動子と、この半導体振動子を支持する支持部とが形成され、半導体振動子の表面には振動励振と振動検出を行う圧電磁器膜が設けられている角速度センサ。
IPC (2件)：
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