特許
J-GLOBAL ID:200903048216004343
ガスバリアフィルム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野田 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-138656
公開番号(公開出願番号):特開2007-307784
出願日: 2006年05月18日
公開日(公表日): 2007年11月29日
要約:
【課題】 有機EL素子は非常に酸素や水分に弱いことが知られており、このような有機EL素子は大気中に暴露した状態で放置すると、酸素、水蒸気の有機EL素子内への進入による劣化が引き起こされることが知られている。プラスチック基材は水、酸素のバリア性に乏しいので、フレキシブル有機ELディスプレイを実現するためにはプラスチック基材へのバリア性の付与が不可欠である。本発明は、水蒸気バリア性に優れかつ高透明性を合わせ持つ、ガスバリアフィルムを提供することを課題とする。【解決手段】 プラスチック基材1の片面または両面にシラン化合物を出発原料に用いたプラズマCVD法により形成された酸化珪素(SiOx)膜2を有するガスバリアフィルムであって、酸化珪素膜2は、xの値が1.9-2.1の範囲にあり、屈折率が1.45-1.48の範囲にあり、さらに膜中の水素原子の割合が30%以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
プラスチック基材の片面または両面にシラン化合物を出発原料に用いたプラズマCVD法により形成された酸化珪素(SiOx)膜を有するガスバリアフィルムであって、前記酸化珪素膜は、xの値が1.9-2.1の範囲にあり、屈折率が1.45-1.48の範囲にあり、さらに膜中の水素原子の割合が30%以下であることを特徴とするガスバリアフィルム。
IPC (3件):
B32B 9/00
, H05B 33/02
, H01L 51/50
FI (3件):
B32B9/00 A
, H05B33/02
, H05B33/14 A
Fターム (31件):
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC22
, 3K107CC23
, 3K107CC24
, 3K107CC27
, 3K107DD19
, 3K107EE48
, 3K107FF06
, 3K107FF14
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AH06
, 4F100AK01A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100EH66B
, 4F100EH66C
, 4F100EJ61B
, 4F100EJ61C
, 4F100GB41
, 4F100JD02B
, 4F100JD02C
, 4F100JD04
, 4F100JN01
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
有機EL表示装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-296585
出願人:株式会社オートネットワーク技術研究所, 住友電装株式会社, 住友電気工業株式会社
-
ガスバリア性積層フィルム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-234947
出願人:凸版印刷株式会社
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る