モノリシックレーザーダイオードアレー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小泉伸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-082738
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120607
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】絶縁層に溝を形成し溝に金属化層を形成する、という煩雑な工程を行わずに、生産性の高いレーザーダイオードアレの構造を提供すること。【構成】上層を導電層110とし、下層を絶縁層100とする。導電層と絶縁層を重ね合わせて一体化し、導電層110に複数の溝120を形成し、溝120にレーザーダイオード200が組み入れられる。単一の半導体基板を用意し、その上部にドーピングを施して導電層320、510を形成していもよい。ドーピングを受けない部分は絶縁層310、500とされる。【効果】溝内金属化層形成のための別個の工程を必要としないので、レーザーダイオードアレーの製造が簡略化され、生産性が向上する。

請求項（抜粋）：

実質的に非導電性な下部基板となる非導電層と、該非導電層上に形成され複数の溝が形成された導電層と、該複数の溝に組み込まれた複数のレーザーダイオードとを有し、該レーザーダイオードの発光面が該導電層の主要面に対して平行に形成され、該レーザーダイオードが該溝内に実質的に鉛直に設けられていることを特徴とするレーザーダイオードアレー。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-023185
特開昭63-087930
灰溶融アーク炉の補助電極制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-273098 出願人：大同特殊鋼株式会社

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